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2026年9月7日

MEMS+玻璃微熔工艺如何重塑扭矩传感

创新结合 MEMS 工艺与玻璃微熔技术,突破传统结构限制,为大规模自动化生产做好技术储备。

MEMS+玻璃微熔工艺如何重塑扭矩传感

传统扭矩传感器依赖金属应变片粘贴工艺,一致性与量产效率受限。道之森创新结合 MEMS 工艺与玻璃微熔技术,实现高精度力/扭矩测量的同时,为大规模自动化生产做好技术储备。

产品体积小、重量轻、响应快且抗过载,支持六维力/扭矩同步测量,赋予机器人精细力控能力。